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          Bruker布魯克 JV-QCVelox X射線衍射儀 XRD

          簡要描述:Bruker布魯克 JV-QCVelox X射線衍射儀 XRD

          ——用于 LED 和外延層晶圓分析的生產專用高分辨率 X 射線衍射系統

          • 所在城市:上海市
          • 廠商性質:經銷商
          • 更新日期:2022-11-10
          • 訪  問  量:1348
          詳細介紹
          品牌Bruker/布魯克價格區間100萬-150萬
          儀器種類探測器及其他設備應用領域化工,電子
          屬性X射線衍射儀

          Bruker布魯克 JV-QCVelox X射線衍射儀 XRD

          ——用于 LED 和外延層晶圓分析的生產專用高分辨率 X 射線衍射系統
















          產 品 概 述

          Bruker’的 JV-QCVelox 是長期運行的 JV-QC 儀器中新、先進的 HRXRD。
          它是化合物半導體行業高分辨率 X 射線衍射的專用質量控制工具。 它適用于表征所有常見的半導體襯底,包括Si、GaAs、InP、GaN 等。
          測量可以部分或*自動化運行,用戶可自定義的腳本處理日常工作。

          VeloMAX™ 光學器件:通過 10 倍以上的強度改進實現高生產率













          JV-QC-Velox 系統的入射光束包括許多標準功能以獲得高強度。 晶體選擇根據材料進行了優化:


          ·在不損失分辨率的情況下,提高了通量并提高了可重復性。
          ·在不降低分辨率的情況下,可以實現比以前更快的測量和更高的精度。 這是在 MQW 分析中保持準確的成分值的關鍵。
          ·多層反射鏡作為所有 JV-QC-Velox 系統的標準配置
          ·對于高鑲嵌樣品,使用 25 英寸的調節晶體發散角來增強系統(標配)
          ·對于傳統的 III-V 系統,可以提供更高分辨率的調節晶體 (<10") 來代替 25" 晶體(需要在采購訂單上注明)
          ·系統的校準可以輕松安全地進行,機柜中沒有開梁。

          ·檢測器級包括許多標準功能,可以增強系統的能力
          ·EDRc(增強動態范圍)檢測器的動態范圍 > 2x107
          ·自動衰減器,通過控制軟件進行控制。這將系統動態范圍增加到超過3x108

          ·三軸晶體是獲得所需晶體的關鍵GaN測量的分辨率。
          ·電動探測器狹縫允許對系統進行控制分辨率,無需手動更換模塊
          ·所有探測器級組件都是自動對齊的通過電腦

          HRXRD 技術







          材料:單晶襯底(例如 Si、GaAs、InP、GaN)和外延
          層,包括多層結構
          參數:層厚度、成分和松弛、應變、區域均勻性、失配、摻雜劑水平、錯切、層傾斜。
          ·直接測量多層結構內層的松弛/應變/組成
          ·自動樣品校準、測量、分析和報告

          ·由 JV-RADS 軟件執行的分析。
          ·化合物半導體襯底可實現對稱、非對稱和斜對稱反射

          VeloSWAP: 高級樣品板

          運動學樣品板:可以快速更換樣品板——每個板都可以在幾秒鐘內移除/更換。 由于運動加載,安裝后無需對齊板。 可以提供多個板并互換使用。
          ·31 x 2" 運動學樣品板,用于大批量測量,以增加板重新加載之間的
          時間并提高生產力和工具效率。
          ·外部條碼閱讀器可以安裝到工具或獨立站。







          JV-QCVelox 配備機器人,可從晶圓盒進行全自動測量

          ·2" 至 200 毫米磁帶
          ·自動檢測晶圓盒尺寸
          ·任意數量插槽的任意配方組合
          ·提高更大晶圓尺寸的生產力
          ·無需人工處理晶圓,提高晶圓清潔度

          bruker布魯克 JV-QCVelox X射線衍射儀 XRD產品規格



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