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          原子力顯微鏡的工作原理

          發布時間:2022-11-24瀏覽:143次

          原子力顯微鏡(Atomic Force Microscopy, AFM)是由IBM 公司的Binnig與史丹佛大學的Quate 于一九八五年所發明的,其目的是為了使非導體也可以采用掃描探針顯微鏡(SPM)進行觀測。

           
          原子與原子之間的交互作用力因為彼此之間的距離的不同而不同,其之間的能量表示也會不同。
           
          原子力顯微鏡(AFM)與掃描隧道顯微鏡(STM)*大的差別在于并非利用電子隧道效應,而是利用原子之間的范德華力(Van DerWaalsForce)作用來呈現樣品的表面特性。假設兩個原子中,一個是在懸臂(cantilever)的探針**,另一個是在樣本的表面,它們之間的作用力會隨距離的改變而變化,其作用力與距離的關系,當原子與原子很接近時,彼此電子云斥力的作用大于原子核與電子云之間的吸引力作用,所以整個合力表現為斥力的作用,反之若兩原子分開有一定距離時,其電子云斥力的作用小于彼此原子核與電子云之間的吸引力作用,故整個合力表現為引力的作用。若以能量的角度來看,這種原子與原子之間的距離與彼此之間能量的大小也可從Lennard–Jones 的公式中到另一種印證。
           
          ·0.3納米長期穩定
          提供NIST可追蹤的參考計量,并在一年內保持測量的穩定性
           
          ·260-340個站點/小時
          內聯應用程序的*高生產效率
          減少MAM時間和優化的晶圓處理可保持高達50個晶圓/小時的吞吐量
           
          ·高達36000微米/秒
          仿形速度
          通過熱點識別提供高分辨率3D特征
           
          ·*高分辨率,尖--端壽命長
          InSight AFP的TrueSense®技術,具有原子力分析器經驗證的長掃描能力。亞微米特征的蝕刻深度、凹陷和侵蝕可以*自動化地監控,具有可重復性,無需依賴測試鍵或模型。
           
          蝕刻和CMP晶片的全自動在線過程控制
          Insight AFP結合了原子力顯微鏡的新創新,包括Bruker的專有CDMode,用于表征側壁特征和粗糙度。CDmode減少了所需的橫截面數量,實現了顯著的成本節約。此外,AFP數據提供了無法通過其他技術獲得的直接側壁粗糙度測量。

           

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